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  • AsH3/砷烷分析氦離子氣相色譜儀

GC-126PDD/AsH3 AsH3/砷烷分析氦離子氣相色譜儀

參考價
面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號GC-126PDD/AsH3
  • 品牌
  • 所在地杭州市
  • 更新時間2022-08-25
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區杭州市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量47
  • 人氣值775
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系統依據的相關標準:GB/T26250-2010電子工業用氣休GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業用氣體中痕量雜質的檢測
AsH3/砷烷分析氦離子氣相色譜儀 產品詳情

系統依據的相關標準:

GB/T 26250-2010 電子工業用氣休

    GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業用氣體中痕量雜質的檢測。該產品以GC-126氣相色譜儀為載體,配備VALCO公司生產的氦離子化(PDHID)檢測器;采用克柔姆公司擁有專業技術的四閥五柱的中心切割與反吹技術,其中的所有進樣和切換閥均為VALCO公司生產的帶吹掃保護氣路的六通或十通閥;上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析解決方案。
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工業氣體行業的高純氣體分析系統,很好的完成了氣體中微量雜質,特別是ppb級的雜質的分析。

Items/檢測項目一:  N 2 ≤ 0.20ppm O 2≤ 0.02 ppm Ar≤ 0.02 ppmv SiH 4≤ 0.02ppmv;  

                       CO2≤ 0.02ppmv CO≤ 0.03ppmv ,H2S ≤ 0.0 3 ppmv , C1C2≤ 0.0 5 ppmv ,

                        GeH4(鍺烷)、 SiH4(硅烷) PH3(磷烷)、H2S

進樣與反吹系統: 吹掃十通閥2只; 吹掃六通閥3只;

閥體選:采用VICI 316L不銹鋼材質; 氣路管線: 1/161/8采用VICI 316L材質

儀器主要應用于6N砷烷氣體中微量雜質的分析,具體內容詳見下表:

氣體種類

需分析特氣的雜質種類

He

H2

O2/Ar

N2

CH4

CO

CO2

H2S

 C2、SiH4、 PH3、GeH4Ge2H6、C3、C4

儀器的最小

檢測限(PPb)

5

5

5

5

15

5

20-30

5-10

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