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NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統

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  • 型號
  • 品牌其他品牌
  • 所在地國外
  • 更新時間2022-07-22
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區上海
  • 實名認證已認證
  • 產品數量40
  • 人氣值827
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那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務大中華區(包含中國大陸,香港,中國臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術服務。


那諾-馬斯特中國的主要產品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯*限公司于1992年在美國所創立的全資子公司,是一家國際前列的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。


自2001年Nano-Master開始設計開發薄膜應用方面的設備,正式面世的系統依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發和電子束蒸發,離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經發展成為國際薄膜設備的供應商,已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發中心和國家重點實驗室。

我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務工程師、技術支持人員,使得公司擁有專業的服務團隊。作為薄膜工藝的設備提供商,我們的目標是提供高品質的服務并始終維持超高水平的集成度。






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產地進口 加工定制
NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統:針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制。
NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統 產品詳情

NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統概述:NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制,*的安全互鎖。

目前,這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統,該系統可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。


NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統應用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)


特點:

  • 獨立系統

  • 14”不銹鋼立方體腔體

  • 1次在8”樣品臺上處理16”晶圓片或在12”樣品臺上處理54”片子

  • 加熱的氣體管路

  • RF等離子源,自動調諧

  • 淋浴頭氣體分布

  • 1100°C的旋轉樣品臺

  • N2沖洗

  • 全自動上下載片

  • 可以兼容到集群配置中


關鍵詞:真空泵
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