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NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌其他品牌
  • 所在地國外
  • 更新時間2022-11-09
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區上海
  • 實名認證已認證
  • 產品數量40
  • 人氣值822
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那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務大中華區(包含中國大陸,香港,中國臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術服務。


那諾-馬斯特中國的主要產品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯*限公司于1992年在美國所創立的全資子公司,是一家國際前列的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。


自2001年Nano-Master開始設計開發薄膜應用方面的設備,正式面世的系統依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發和電子束蒸發,離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經發展成為國際薄膜設備的供應商,已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發中心和國家重點實驗室。

我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務工程師、技術支持人員,使得公司擁有專業的服務團隊。作為薄膜工藝的設備提供商,我們的目標是提供高品質的服務并始終維持超高水平的集成度。






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產地進口 加工定制
NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統:NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔配置,樣品臺位于主腔體,二級腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間的門閥作為預真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,通過主腔放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。自動裝/卸載基片可通過第三方的預真空鎖實現。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。
NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統 產品詳情

NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統概述:NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置,其中樣品臺位于主腔體內,二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,實現基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,他可以通過第三方的預真空鎖來實現,這可以設置于立方體的左側。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。


NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統特點:

  • 順序蒸發或共蒸發

  • 雙電子束源

  • 多凹槽電子槍

  • 可編程電子束掃描

  • 10KW開關電源

  • 渦輪分子泵,極限真空5x10-7Torr

  • 自動上下載片

  • 材料和襯墊更換非常方便

  • 晶振式膜厚監測儀

  • 通過LabView軟件實現PC計算機控制

  • 菜單驅動,四級訪問密碼保護

  • *的安全聯鎖


產品型號:

  • NEE-3500:計算機全自動控制的緊湊型獨立系統

  • NEE-4000:計算機全自動控制的獨立系統



關鍵詞:開關電源
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