NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統概述:NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置,其中樣品臺位于主腔體內,二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,實現基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,他可以通過第三方的預真空鎖來實現,這可以設置于立方體的左側。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。
NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統特點:
順序蒸發或共蒸發
雙電子束源
多凹槽電子槍
可編程電子束掃描
10KW開關電源
渦輪分子泵,極限真空5x10-7Torr
自動上下載片
材料和襯墊更換非常方便
晶振式膜厚監測儀
通過LabView軟件實現PC計算機控制
菜單驅動,四級訪問密碼保護
*的安全聯鎖
產品型號:
NEE-3500:計算機全自動控制的緊湊型獨立系統
NEE-4000:計算機全自動控制的獨立系統