EPS200RF 概述
完整的RF測量套裝
以應用為中心的EPS200RF是一款完整的解決方案,可實現高達67 GHz的同類射頻測量。基于PM8系統平臺,EPS200RF套裝包括您所需的所有硬件,軟件和附件,可以放心地探測帶有小于25μmx35μm焊盤的RF器件。
Applications: RF/mmW
EPS200RF 主要特征

三種探針技術
Infinity 探針:于 Al (Si)
ACP 探針:于 AU (III-Vs)
IZI探針:堅固耐用的探針方案(長壽命)
可在 26 GHz 至 67 GHz 的頻率范圍內于多種材料上實現精準的接觸
準確的測量結果和的抗串擾特性
包含了匹配的電纜和校準片
精確扎針方案
RF 芯片載物臺的表面平坦度為 ±3 μm
*的500μm針座承載平臺接觸/分離行程,精度≤±1μm
精準的探針對準
一致的扎針力度
穩定的接觸性能

WinCal XE 校準軟件
的 1、2、3 和 4 端口晶圓上校準算法
自動化校準監視
*的測量和分析方法
準確的S參數測量
高效自動校準
簡便快捷的數據處理和報告生成