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等離子氣相沉積設備 AD-230LP

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  • 所在地
  • 更新時間2022-05-27
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區青島市
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AD-230LP是一種原子層沉積(ALD)系統,能夠在原子水平上控制薄膜厚度
等離子氣相沉積設備 AD-230LP 產品詳情

AD-230LP是一種原子層沉積(ALD)系統,能夠在原子水平上控制薄膜厚度。有機金屬原料和氧化劑交替供給反應室,僅通過表面反應進行薄膜沉積。該系統具有負載鎖定室,且不向大氣開放反應室,因此能夠實現薄膜沉積的優良再現性。

主要特點和優點


可以在原子層水平上實現均勻的層控制。

可實現高縱橫比結構的共形沉積。

具有優良的平面內均勻性和再現性,實現了穩定的工藝。

采用*的反應室結構,優化了原料的氣路和氣體流,抑制了粒子。

通過采用電容耦合等離子體(CCP)系統,使反應室體積最小化,縮短了氣體吹掃時間,加快了一個循環的速度。

應用

氮化膜(AlN、SiN)的形成和低溫形成的氧化膜(AlOx、SiO2)。

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半導體、有機EL等的鈍化膜。

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