● Z軸通過電動(dòng)手脈進(jìn)行精準(zhǔn)控制（對焦精度可達(dá)0.0005mm）
● 快速釋放裝置便于測量工件大或測量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)
● 高位目鏡觀察
● 千兆網(wǎng)口CCD圖像成像(HKVISION-300萬像素)
晶圓高度測量儀技術(shù)參數(shù)
3.1主體規(guī)格
◆X坐標(biāo)行程: 200（mm）
◆Y坐標(biāo)行程： 100（mm）
◆Z坐標(biāo)行程: 150（mm）
◆X、Y坐標(biāo)測量示值誤差≤（3+L/150）µm ，L為被測長度(單位：mm)
◆X、Y、Z數(shù)顯分辨率：0.001mm
◆輪廓光源：綠色LED平行光源，無極亮度可調(diào)
◆上光源：白色LED環(huán)形可調(diào)光源
3.2目視系統(tǒng)
◆雙目視鏡筒+標(biāo)準(zhǔn)的TV攝像機(jī)端口
◆物鏡：1.0-6.5X可連續(xù)變倍物鏡
◆目鏡放大倍數(shù)：10X，單雙目同，可選配20X
◆總放大倍數(shù)： 10X-65X（包括畸變在內(nèi)的）
◆物鏡放大倍數(shù)誤差：放大率誤差范圍在0.08%內(nèi)
3.3影像系統(tǒng)
◆標(biāo)配CCD相機(jī)1X鏡筒
◆CCD：千兆網(wǎng)口高清晰攝像頭（HKVISION）
◆綜合影像放大倍數(shù)：45X-1000X
晶圓高度測量儀軟件功能
1.產(chǎn)品介紹
公司推廣出的Z軸電動(dòng)手脈金相測量顯微鏡，使用專業(yè)訂制的高精準(zhǔn)細(xì)分脈沖金相測量電機(jī)，通過設(shè)置多種脈沖細(xì)分量和機(jī)構(gòu)上的精準(zhǔn)調(diào)校，可以實(shí)現(xiàn)快中慢三檔調(diào)速來控制Z軸光學(xué)鏡頭上下移動(dòng)；
而在選擇低速檔時(shí)，我們讓電機(jī)脈沖量的最小化設(shè)置跟傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的調(diào)校，可以保證Z軸上下移動(dòng)時(shí)，精細(xì)到0.5UM-1UM（甚至更低的分辨率）每格（手脈刻度），而有效地杜絕了了目前市場上主流金相測量顯微鏡在高倍率使用下的通病不再發(fā)生（高倍下無法定準(zhǔn)對焦面，使用手動(dòng)Z軸調(diào)焦齒輪打滑等等現(xiàn)象?。?/p>
◆Z軸電動(dòng)手脈金相測量顯微鏡集軟件、光、機(jī)、電為一體，是高精度、高效率的測量顯微鏡；
◆Z軸電動(dòng)手脈金相測量顯微鏡是觀察、測量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容;
◆Z軸電動(dòng)手脈金相測量顯微鏡可以作為觀察顯微鏡，用相對量測法檢查工件表面形狀等非接觸
測量為目的各種精密加工業(yè)，是計(jì)量室、實(shí)驗(yàn)室以及生產(chǎn)車間*的計(jì)量檢測設(shè)備之一。
