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共聚焦顯微鏡—賦能光學元件精密質控

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2025年06月04日 09:12  

在光學精密加工領域,微納結構元件的三維形貌檢測是保障器件性能的重要環節。以微透鏡陣列、衍射光學元件為代表的精密光學元件,其特征尺寸已突破亞微米量級,對表面輪廓精度與結構面形誤差的檢測要求達到納米級分辨率。若加工過程中產生的邊緣塌陷、周期畸變或面形偏差未能精準識別,當此類缺陷元件被集成至光通信模塊或成像系統時,將導致光束傳播相位失配、成像質量劣化等問題,甚至造成整機系統的功能性失效。

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中圖儀器共聚焦顯微鏡是一款多功能的光學三維測量儀器,可實現微納尺度的表面三維形貌檢測,助力各行業研發、制造、質量檢測的研究人員與工程師完成產品檢測需求,嚴控工藝質量關。

光學光柵是基于精密微納加工技術制備的周期性衍射元件,通過微納尺寸溝槽結構,廣泛應用于光譜分析、激光調諧與光通信系統,其結構精度直接決定器件的衍射效率和分辨率。

共聚焦顯微鏡可以對光柵式圖樣進行3D檢測,自動測量分析光柵深度和周期性間隔,監控光柵關鍵尺寸良率。

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不同周期的環形光柵圖樣

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微透鏡陣列是由通光孔徑及浮雕深度為微米級的透鏡組成的陣列,其最小功能單元可以是球面鏡、非球面鏡、柱鏡、棱鏡等。因為單元尺寸小、集成度高,使得它能構成許多新型的光學系統,完成傳統光學元件無法完成的功能。微透鏡陣列通過其高集成度與靈活的光場調控能力,正成為光學系統微型化與智能化的核心元件,在光纖通信、激光光學等領域的應用潛力巨大。

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共聚焦顯微鏡可以對光學微透鏡陣列三維形貌進行重建,檢測表面是否存在微缺陷,自動分析透鏡矢高半徑等參數,驗證其是否符合預期標準。


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