型號:GMG-210B
說明:10kW/2450MHz 高穩定微波功率源
1. GMG-210B/C型微波源概述
GMG-210B/C型高穩定程控微波源采用智能芯片控制,用戶通過設置參數后,系統控制由智能芯片完成,控制精度高、穩定性好、操作簡單。系統采用聯鎖控制方式,能有效地防止誤操作,對水、溫度、市電等條件異常時有完善的保障系統,確保正常、安全工作。系統還提供外接聯鎖控制保護接口,保護操作人員和負載安全。系統采用控制柜與功率頭分離結構,方便用戶連接不同類型的微波工作室(或腔體)。
GMG-210B型高穩定程控微波源,采用旋鈕和按鍵方式操控開機、關機和微波功率設定,控制面板設有微波功率輸出顯示表頭和微波反射功率顯示表頭,操作簡便,系統工作狀態一目了然。
GMG-210C型高穩定程控微波源采用觸摸屏控制方式,為用戶提供兩種操控模式,即簡易操作模式和用戶編程操作模式。
GMG-210B/C型高穩定程控微波源適合與微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)系統、微波等離子鍍膜系統、微波ECR系統、微波等離子源系統、微波精細陶瓷燒結系統等配套,為不同的微波反應腔體提供精確、穩定的微波功率源。
2. GMG-210B/C型 微波源系統組成及技術指標
2.1. 系統組成:為方便連接各種不同類型的波導系統,本微波源將微波功率頭從控制柜中分離出來,既方便波導連接,也便于安裝操作。
⑴ 微波功率頭:采用微波磁控管規格型號為國產CK-2091 10kw/2450MHz±5MHz作為功率源,輸出功率為10KW。如圖2.1所示。
⑵ 控制系統:采用智能芯片編程控制,可控制微波輸出功率。采用了安全保護系統,保證系統正常、安全地工作。提供負載聯鎖保護接口,能有效地防止誤操作,保護操作人員。