型號：GMG-2020C

說明：2kW/2450MHz高穩定程控微波功率源

GMG-2020C 2KW程控微波源概述

GMG-2020C 2KW程控微波源，是總結多年來我們研制和生產高穩定微波源的經驗和客戶反饋的意見，經過精心設計和改進而研制成功的。其穩定度高，性能優良、工作穩定可靠、使用方便。

本系統采用的單片機程序觸摸屏控制。控制精度高、穩定性好、操作簡單。

本系統采用控制柜與功率頭分離結構，有利于用戶方便連接不同類型的波導系統。

用戶配接相應的反應器，可廣泛用于金剛石、類金剛石等多種薄膜的MPCVD；微波ECR系統，微波等離子源；微波精細陶瓷燒結等高科技領域的科研和生產。

二. 微波源系統組成及技術指標

2.1. 系統組成

1）微波功率頭: 采用微波磁控管作為功率源，輸出功率為2000W。

2）傳輸系統: 可根據用戶要求選配，如環行器，短負載，電動三銷釘調配器等組件。

3）控制系統: 采用單片機控制，控制微波輸出功率、反射功率和工作時間。

以上三部分構成微波源.

2.2. 主要技術指標

1）工作頻率：2450MHz±25MHz

2）輸出功率：200W~2000W連續可調，（要求三相電壓平衡，相電壓差不超過1%）

3）功率穩定度：輸出功率變化±1%（輸出2kW時）。

4）控制方式：面板操作控制方式。

5）功率顯示：采用3組4位數顯表分別顯示微波反射功率值、輸出功率值、工作時間或設定功率值。

6）傳輸系統: 該系統可根據要求配三端環行器，短負載,電動三銷釘調配器等波導組件。負載駐波系數(VSWR)在1.5-50大幅度變化時仍能調配和穩定工作。

7）設備保護系統：系統有完善的保護功能，對電源、冷卻水等異常情況進行自動保護，確保工作安全可靠。

8）微波泄漏符合國家標準。

9）輸出波導：          BJ-26帶FD-26標準法蘭盤；

10）電源：               三相四線 380V±10%  /50Hz

11）功耗：        <2.5 KW

12）接地電阻：        小于5Ω

13）冷卻水壓：         400 KPa

14）冷卻水流量：      3 升/分

15）冷卻水接頭直徑：Φ10 mm