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PEG100 中真空至超高真空真空計 氦質譜檢漏儀

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  • 型號
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  • 所在地
  • 更新時間2023-06-04
  • 廠商性質其他
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  • 產品數量80
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PEG100 中真空至超高真空真空計 氦質譜檢漏儀 產品詳情

益處

  • 測量范圍廣,從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)
  • 全金屬冷陰極傳感器(潘寧),帶陶瓷饋入裝置
  • 創新的電極幾何形狀提供的點火屬性
  • 等離子點火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險,即使在有氬氣的濺射運行中
  • 陽極環和鈦陰極可輕松進行清潔或更換
  • 最小化真空計附近的磁場強度
  • 用于電源接通和等離子體點火的 LED 指示器
  • 對數模擬輸出信號
  • 現場總線接口(Profibus DP、DeviceNet)允許使用網絡通信將真空計輕松集成到真空系統中

典型應用

  • 高真空壓力監控
  • 蒸發濺射系統
  • 高真空范圍內的一般真空測量和控制

規格

類型PEG100
測量范圍 1 x 10-9 to 1 x 10-2
精度 
10-8 至 10-4 毫巴% of reading±30
壓力,()bar10
溫度 
運行(環境)°C+10 to +50
貯存°C-20 to +75
無電子設備,烘烤°C350
帶電子元件,在法蘭處烘烤°C70
供應 
電壓V (dc)14.5 to 36
消耗,W<2
輸出信號模擬 
輸出信號V0 to 10.6
測量范圍V0.66 to 10
電壓與壓強之間的關系volts per decade1.333
連接器FCC 68, female, 8 pin (shielded)
電纜長度,(模擬)m (ft.)100 (330)
暴露于真空的材料Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
內部容積cm3 (in.3)21 (1.28)
重量,接近g500
保護類型IP40
DeviceNet™ 
設備類型generic
顯示對等網絡傳訊no
I / O 對等傳訊no
配置一致性值no
默認節點恢復no
波特率kBaud125 / 250 / 500
主板 / 掃描器no
I / O 從屬傳訊: 位觸發yes
I / O 從屬傳訊: 輪詢yes
I / O 從屬傳訊: 周期yes
I / O 從屬傳訊: 狀態改變 (COS)yes
DeviceNet™ 電源V (dc)11 to 25
DeviceNet™ 連接器Phoenix Combicon, 5 pin
Profibus DP 
支持的波特率(自動檢測)kBaud9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500
擴展的用戶參數數據byte5
配置: 輸入輸出數據數量2
同步模式和凍結模式Yes
Profibus 的連接器D-sub, 9 pin
PEG100 中真空至超高真空真空計     
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