功能
- INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得、的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下
- Auto Z 技術(shù)通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度
- 一個 Cygnus 2 即可同時、單獨或以任何組合方式控制最多 6 個來源，無需使用兩個或三個控制器
- 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
- 10 Hz 測量
- 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
- USB 數(shù)據(jù)存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數(shù)據(jù)記錄
- 多個源厚度合計功能
- 測量低密度、低速率材料的平均速率（使用穩(wěn)定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積最多 30 秒）
- 速率顯示分辨率可達0.001?
- 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜
- 無沉積控制允許持續(xù)控制源，因為基片可以通過沉積室不斷循環(huán)
- 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控
- 可選以太網(wǎng)通信
- 符合 RoHS 標準
規(guī)格
| 類型 | Cygnus 2 | |
|---|---|---|
| 測量性能 | ||
| 頻率分辨率 | ±0.0035 Hz @ 6 MHz | |
| 厚度和速率分辨率/測量 (1) | ±0.00433 ? | |
| 測量頻率范圍 | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) | |
| 厚度精度 (2) | 0.5% | |
| 測量周期 | 0.10 s | |
| 多個測量值平均 | 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed | |
| 設計功能 | ||
| 多傳感器測量 | yes (up to 6 sensors) | |
| Auto Z | yes | |
| 共沉積 | yes (up to 6 sensors) | |
| 過程配方和數(shù)據(jù)管理 | ||
| 材料計劃 | 6 independent materials | |
| USB 存儲器 | yes | |
| 數(shù)據(jù)記錄 | yes | |
| 硬件功能 | ||
| 傳感器 (3) | | |
| 單 | 6 | |
| 帶 CrystalTwo® 的雙 | 6 (with one CrystalTwo Switch per sensor input) | |
| CrystalSix® | 6 | |
| Crystal 12® | 6 | |
| 通用 | 6 | |
| 來源控制 | | |
| 來源數(shù)量 (4) | up to 6 | |
| 來源控制電壓 | 0 to +/-10 V, adjustable | |
| 輸出分辨率 | 15 bits over full range (0 to 10V) | |
| 坩堝位置 | 64 | |
| 輸入 / 輸出 | | |
| 輸入 | 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground | |
| 輸出 | 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs | |
| 記錄器輸出 (4) | 0 to +10 V, adjustable | |
| 邏輯語句 | 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement | |
| 通信 | | |
| 標準 | RS232 | |
| 可選 | Ethernet | |
| 顯示器 | ||
| 厚度分辨率 | 1 ? for 0 to 9.999 k? 10 ? for 10.00 to 99.99 k? 100 ? for 100.0 to 999.9 k? 1 k? for 1000 to 9999 k? | |
| 速率分辨率 | 0.001 for 0 to 9.999 ?/s 0.01 for 0 to 99.99 ?/s 0.1 for 100 to 999.9 ?/s | |
| 操作 | ||
| 電源要求 | 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz | |
| 工作溫度 | 0 to 50 C (32 to 122 F) | |
| 尺寸，不包括安裝件（高 x 寬 x 深） | 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm) | |
| 重量 | 13 lbs (5.9 kg) | |
(1) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6 兆赫茲
(2) 隨過程變化；數(shù)值表示典型的精度
(3) 每種類型的配置
(4) Cygnus 2 有 6 個 DAC 輸出標準，還可選擇再添加 6 個。可將 12 個中的任何一個配置為來源控制電壓或記錄器輸出，但可同時控制的來源數(shù)量為 6
INFICON Cygnus 2 膜厚儀
