LFS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器
一、產(chǎn)品介紹
LFS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的，這一系列傳感器均采用微機(jī)電系統(tǒng)流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。*的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測(cè)量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號(hào)輸出，通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
■響應(yīng)速度快
■低功耗、低壓損
■傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定性高
■傳感器靈敏度高、有極小的始動(dòng)流量
■全量程高穩(wěn)定性、高精度度和優(yōu)良的重復(fù)性
■在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高
■傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量。
三、技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | LFS4001 | 單位 |
通徑 | 3.0 | mm |
流量范圍 | 30、100、200、500、1000 | SCCM（毫升/分鐘） |
量程比 | 100：1 |
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精度 | ±1.5 | % |
重復(fù)性 | 0.25 | %讀數(shù) |
響應(yīng)時(shí)間 | 4 | 秒 |
工作電源 | 8-24VDC |
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輸出信號(hào) | 0.5-4.5VDC、RS232 |
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*工作壓力 | 0.5 | MPa |
工作溫度 | -5～+55 | ℃ |
儲(chǔ)存溫度 | -20～+65 | ℃ |
連接方式 | 可拆卸的軟管接頭或根據(jù)客戶需求訂制 | |
四、選型編碼
LFS4001- | □ - □ - □ 說 明 | |||
* 流量 | 30 | 30 mL | ||
100 | 100 mL | |||
200 | 200 mL | |||
500 | 500 mL | |||
1000 | 1000 mL | |||
輸出方式 | C | RS232 | ||
V | 模擬電壓(0.5-4.5VDC) | |||
CV | RS232+模擬電壓(0.5-4.5VDC) | |||
測(cè)量介質(zhì) | A | 空氣 | ||
C | 二氧化碳 | |||
E | 氦氣 | |||
H | 氫氣 | |||
N | 氮?dú)?/span> | |||
O | 氧氣 | |||
R | 氬氣 | |||
注明：*流量的單位為sccm，比如100代表*流量為100sccm；對(duì)二氧化碳，*流量可選30，100，200，500和750，不可選1000；傳感器的標(biāo)準(zhǔn)輸出為模擬電壓，RS232為選項(xiàng)。
