GC-LTH高純氬色譜分析儀
GC-LTH型氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。該產(chǎn)品配置氬離子化(AID)檢檢測器；采用帶吹掃保護氣路的六通或十通閥；上述部分與氬氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整及解決方案。
操作系統(tǒng)
該儀器通過中心切割與反吹系統(tǒng)可完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。
無死體積取樣閥
載氣減壓閥
背壓閥控制的進樣技術(shù)
外型尺寸：580550500（mm）
去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH2、H20、CH4等
可大操作壓力：2Mpa
殘留濃度：≤20ppb
組分檢測限：
組分 檢測限（ppm）
CO2 ≤0.1
CH4 ≤0.1
CO ≤0.1
O2 ≤0.1
H2 ≤0.1
N2 ≤0.1
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