昆山國華等離子表面處理設備發生器

如果環境溫度較低，等離子體能夠通過輻射和熱傳導等方式向壁面傳遞能量，因此，要在實驗室內保持等離子體狀態，發生器供給的能量必須大于等離子體損失的能量。不少人工產生等離子體的方法(如爆炸法、激波法等)產生的等離子體狀態只能持續很短時間(10~10秒左右)，而有工業應用價值的等離子體狀態則要維持較長時間(幾分鐘至幾十小時)。能產生后一種等離子體的方法主要有:直流弧光放電法、交流工頻放電法、高頻感應放電法、低氣壓放電法(例如輝光放電法)和燃燒法。前四種放電都用電學手段獲得，而燃燒則利用化學手段獲得。

等離子體發生器的放電原理:利用外加電場或高頻感應電場使氣體導電，稱為氣體放電。氣體放電是產生等離子體的重要手段之一。被外加電場加速的部分電離氣體中的電子與中性分子碰撞，把從電場得到的能量傳給氣體。電子與中性分子的彈性碰撞導致分子動能增加，表現為溫度升高;而非彈性碰撞則導致激發(分子或原子中的電子由低能級躍遷到高能級)、離解(分子分解為原子)或電離(分子或原子的外層電子由束縛態變為自由電子)。高溫氣體通過傳導、對流和輻射把能量傳給周圍環境，在定常條件下，給定容積中的輸入能量和損失能量相等。電子和重粒子(離子、分子和原子)間能量傳遞的速率與碰撞頻率(單位時間內碰撞的次數)成正比。在稠密氣體中，碰撞頻繁，兩類粒子的平均動能(即溫度)很容易達到平衡，因此電子溫度和氣體溫度大致相等,這是氣壓在一個大氣壓以上時的通常情況,一般稱為熱等離子體或平衡等離子體。在低氣壓條件下，碰撞很少，電子從電場得到的能量不容易傳給重粒子，此時電子溫度高于氣體溫度，通常稱為冷等離子體或非平衡等離子體。兩類等離子體各有特點和用途(見等離子體的工業應用)。氣體放電分為直流放電和交流放電。