此設備用氣體作為處理介質，它是利用能量轉換技術以電能將氣體轉換為化學反應性和活性很高的氣體等離子體，等離子體對固體樣品表面進行相互作用，引起分子結構改變，從而對樣品表面的有機污染物進行超清洗和使樣品表面改性，以獲得希望的表面特性。用氣體作為處理介質有效地避免了對環境和樣品帶來的二次污染。
真空等離子清洗設備外接一臺真空泵，工作時氣體等離子體輕柔沖刷樣品的表面，短時間就可以使有機污染物被*地清洗掉
此設備用氣體作為處理介質，它是利用能量轉換技術以電能將氣體轉換為化學反應性和活性很高的氣體等離子體，等離子體對固體樣品表面進行相互作用，引起分子結構改變，從而對樣品表面的有機污染物進行超清洗和使樣品表面改性，以獲得希望的表面特性。用氣體作為處理介質有效地避免了對環境和樣品帶來的二次污染。
真空等離子清洗設備外接一臺真空泵，工作時氣體等離子體輕柔沖刷樣品的表面，短時間就可以使有機污染物被*地清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，其清洗能力達到分子級。等離子清洗機可對樣品的表面改性，加強樣品的粘附性、相容性和浸潤性，也可對樣品消毒和殺菌。在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的等離體，繼而通過等離子體轟擊加工面對象表面，產生微觀上面剝離效果（調整等離子轟擊時間就可以調整剝離深度，等離子的作用是納米級的，所以不會損壞加工對象），以達到作業目的。
