GH-15MH
機臺整機規格2150(W)×1750(D)×2035(H)mm
真空室規格進口鋁 1090(W)×1430(D)×950(H)
電極板規格進口鋁1120D×660H mm
單層有效處理區尺寸1075D×620H mm
真空電極結構垂直電極板16層, 處理15層工件
真空泵系統愛德華底泵+愛德華羅茨泵
GH-15MH
機臺整機規格2150(W)×1750(D)×2035(H)mm
真空室規格進口鋁 1090(W)×1430(D)×950(H)
電極板規格進口鋁1120D×660H mm
單層有效處理區尺寸1075D×620H mm
真空電極結構垂直電極板16層, 處理15層工件
真空泵系統愛德華底泵+愛德華羅茨泵