昆山國華電子述

真空等離子清洗設備是一種表面處理設備：

此設備用氣體作為處理介質，它是利用能量轉換技術以電能將氣體轉換為化學反應性和活性很高的氣體等離子體，等離子體對固體樣品表面進行相互作用，引起分子結構改變，從而對樣品表面的有機污染物進行超清洗和使樣品表面改性，以獲得希望的表面特性。用氣體作為處理介質有效地避免了對環境和樣品帶來的二次污染。

真空等離子清洗設備外接一臺真空泵，工作時氣體等離子體輕柔沖刷樣品的表面，短時間就可以使有機污染物被*地清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，其清洗能力達到分子級。等離子清洗機可對樣品的表面改性，加強樣品的粘附性、相容性和浸潤性，也可對樣品消毒和殺菌。在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的等離體，繼而通過等離子體轟擊加工面對象表面，產生微觀上面剝離效果（調整等離子轟擊時間就可以調整剝離深度，等離子的作用是納米級的，所以不會損壞加工對象），以達到作業目的。

真空等離子清洗設備結構：

真空等離子清洗設備：

1.控制單元： ●控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、 PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式（包括國外進口的） ●控制單元又分為兩個大的部分： A:電源部分：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，13.56MHz是需要電源匹配器的，而2.45GHz又稱為微波等離子 B :系統控制單元：分三種，按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）

2.真空腔體：不銹鋼和石英腔體

3.真空泵： 干泵和油泵

真空腔的設置具有很強的靈活性，腔內有可調節層極板插槽，根據需要每個插槽內的極板都可以設置為獨立的陽極、陰極。也可以根據需要來調整極板間的距離，來達到不同的工藝效果。由于勻氣腔、抽氣口、以及陽極、陰極極結構*的氣流設計。等離子技術在橡塑行業的應用已非常成熟，其相關產值逐年增加，國外市場比國內市場產值高，但國內可發展空間大，應用前景誘人。