日立新款X射線儀器 FT110特長
通過自動定位功能提高操作性
測量樣品時，以往需花費約10秒的樣品對焦，現在3秒內即可完成，大大提高樣品定位的操作性。微區膜厚測量精度提高
通過縮小與樣品間的距離等，致使在微小準直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。多達5層的多鍍層測量
使用薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。廣域觀察系統（選配）
可從大250×200mm的樣品整體圖像測量位置。對應大型印刷線路板（選配）
可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。低價位
與以往機型相比，既提高了功能性又降低20%以上的價格。
日立新款X射線儀器 FT110 規格
| 型號 | FT110A |
|---|---|
| 測量元素 | 原子序號Ti（22）～Bi（83） |
| X射線源 | 空冷式小型X射線管 管電壓：50（可變更）kV 管電流：10～1000µA |
| 檢測器 | 比例計數管 |
| 準直器 | ○型： 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種 |
| 樣品觀察 | CCD攝像頭 |
| 對焦 | 激光對焦（自動） |
| 濾波器 | 一次濾波器（自動切換） |
| 樣品區域 | [固定]535×530 mm [電動] 260×210 mm (移動量X:250 mm, Y:200 mm) |
| 測量軟件 | 薄膜FP法（大2層、10種元素）、檢量線法 |
| 安全功能 | 樣品室門聯鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能 |
