稀釋氣質量流量計可控制到0-10SLM；
源氣質量流量計可控制到0-100SCCM；
2路校準口入口和1路吹掃口；
1路稀釋氣入口，3路輸出口和1路排空口；
42個按鍵薄膜鍵盤；
8位數字輸入/輸出，1路串行輸出；
彩色大屏顯示，
儀器特點：
稀釋氣質量流量計可控制到0-10SLM；
源氣質量流量計可控制到0-100SCCM；
2路校準口入口和1路吹掃口；
1路稀釋氣入口，3路輸出口和1路排空口；
42個按鍵薄膜鍵盤；
8位數字輸入/輸出，1路串行輸出；
彩色大屏顯示，
性能參數：
稀釋入口：1路標準；
源氣入口：1路標準，1路吹掃；
稀釋流量：0-10SLM(0-20SLM可選)；
源氣流量：0-100SCCM（0-2SLM可選）；
流量精度：<1%FS；
流量重復：<±0.15%FS；
線 性：<±0.5%FS；
入口壓力：12-35PSIG；
集成輸出：3路輸出，1路放空（1路滲透端可選）；
操 作：42按鍵薄膜鍵盤手動輸入或外接鍵盤；
校準定義：20個工廠配置流路，每個流路可大20個線性點；
校準類型：稀釋氣，臭氧，GPT；
氣體定義：1路稀釋氣，20路源氣；
自動校準：可驅動20路定時程序，用戶可自定義；
數字輸入/輸出：可使用觸點觸發或TTL邏輯控制的8位校準功能；
通 訊：RS232,以太網TCP/IP可選；
溫 度：5-40℃；
外形尺寸：156mm（H）×364mm(W)×316 mm (D)；
重 量：8.6kg；
電 源：98-264VAC，100VA，50/60HZ。
