稀釋氣質量流量計可控制到0-10SLM；
源氣質量流量計可控制到0-100SCCM；
4路校準氣入口和1路吹掃口；
1路稀釋氣入口，5路輸出口和1路排空口；
55個按鍵薄膜鍵盤；
24位數字輸入/輸出，
2路串行通訊輸出，RS232輸出；
大而明亮的彩色顯示器；
外部PC鍵盤接入端口；
并行打印端口；
空氣源控制端口。
儀器特點：
稀釋氣質量流量計可控制到0-10SLM；
源氣質量流量計可控制到0-100SCCM；
4路校準氣入口和1路吹掃口；
1路稀釋氣入口，5路輸出口和1路排空口；
55個按鍵薄膜鍵盤；
24位數字輸入/輸出，
2路串行通訊輸出，RS232輸出；
大而明亮的彩色顯示器；
外部PC鍵盤接入端口；
并行打印端口；
空氣源控制端口。
性能參數：
稀釋入口：1路標準；
源氣入口：4路標準，1路吹掃；
稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）；
源氣流量：0-100SCCM/0-10000SCCM；
流量精度：≤±1%FS；
流量重復：≤±0.15%FS；
線 性：≤±0.5%FS；
入口壓力：20-35 PSIG；
內置臭氧發生器參數：
輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm；
精度：1%SP或5SLPM下2ppb；
流量：100±1 SCCM；
紫外燈溫度：50±0.1℃。
內置紫外吸收光度計參數：
量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；
線性：±1ppb或±1%FS；
精度：±1ppb；
零點漂移：<±1ppb/24小時或30天；
流速：1.0 LPM；
模擬輸出：0-0.1/1/5V。
內置稀釋爐參數：
材質：玻璃或特氟龍；
尺寸：1個稀釋管；
可調溫度：高于環境溫度5度到65度；
溫度精度：<±0.1℃；
操作：55個按鍵，鍵盤或串行端口；
校準定義：20個工廠定義流路；
校準類型：氣體稀釋，臭氧，GPT；
氣體定義：2個稀釋氣，20個源氣；
自動校準：20個程序驅動定時，
7天事件，用戶可自定義；
