氣體質(zhì)量流量控制器/流量計

1、用途和特點

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller ）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它在多個領域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應用。

質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等（可以使用在高壓及真空系統(tǒng)）特點。操作使用方便，可任意位置安裝，配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀使用，也可直接同計算機實現(xiàn)RS-232 連接，非常方便的實現(xiàn)自動控制。它也可以作為氣體質(zhì)量流量計使用。配合DSN2000流量顯示儀對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確測量和控制。

2命名方法

本公司產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標準SJ/T10583-94 、SJ37以及中華人民共和國國家計量技術規(guī)范JJF 1246-2010 所規(guī)定的通用技術條件和命名方法。本技術說明書為氣體質(zhì)量流量控制器的使用說明書。

3、主要技術指標:

注意:

質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:   SCCM (標準毫升/分);

SLM (標準升/分)

標準狀態(tài)規(guī)定為:         溫度 ---273.15K ( 0℃ );

氣壓 —- 101325 Pa (760mm Hg)

F.S (Full Scale):       滿量程值

4. 結構工作原理

   江西景德鎮(zhèn)MFC氣體質(zhì)量流量控制器/流量計由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。

本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。

采用毛細管傳熱溫差熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。

江西景德鎮(zhèn)MFC氣體質(zhì)量流量控制器/流量計分流器在主通道和毛細管間產(chǎn)生層流，用以擴大通過流量控制器的流量。

控制器輸出的流量以電壓形式輸出，滿量程為5.00V。

控制器一般可以與計算機或與之相兼容的流量顯示儀連接。

直接與計算機連接,則需要用戶另行提供電源和A/D,D/A轉(zhuǎn)換卡。

控制操作一般在流量顯示儀上進行。在流量顯示儀內(nèi)設置有三位閥門控制開關，當置“關閉”位時，閥門關閉；當置“清洗”位時，閥門開到zui大，以便氣路清洗，或作為流量計使用；當置于“閥控”時，則按設定電壓的數(shù)值自動控制氣體流量。（參考流量顯示儀的使用說明書） 

控制器輸出的流量檢測電壓與流過通道的質(zhì)量流量成正比, 滿量程(F.S) 流量檢測輸出電壓為+5.00V。質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S （量程比為50:1）, 流量分辨率是0.1%F.S 。

江西景德鎮(zhèn)MFC氣體質(zhì)量流量控制器/流量計注意:

當質(zhì)量流量控制器的“閥控”線置于“清洗”位時，也可以當質(zhì)量流量計使用。在做

流量計使用時，流量檢測電壓的輸出值zui大可能達+10V以上，不過要注意，當流量超過滿

量程值（+5.00V）后，流量檢測電壓與通過的實際流量不成線性對應關系。清洗時，流量顯示不準確，還可能出現(xiàn)流量增大顯示反而減小的異常現(xiàn)象，但并不會對流量計本身造成損傷。在氣路中氣源未開啟的情況下，禁止使用清洗功能。用于“清洗”狀態(tài)的時間不宜過長，否則將對流量控制器的性能產(chǎn)生影響.

氣體質(zhì)量流量控制器