激光干涉儀和白光干涉儀的區別在哪
2021-01-22標簽：激光干涉儀
激光干涉儀測量利用的是邁克爾遜干涉原理：
(1)?從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；
(2)?兩束激光分別經由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡后進行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；
(3)?角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離，將會產生一次完整的明暗干涉現象。測量距離等于干涉條紋數乘以激光半波長。
根據激光干涉儀的原理，我們可以清楚知道，激光干涉儀是用來檢測設備的運動精度的，SJ6000激光干涉儀目前在機床、直線電機、滑臺、模組、自動化設備、機器人等領域廣泛應用。
白光干涉儀
白光干涉儀以白光干涉技術為原理，光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
白光干涉儀是用來測量三維微觀形貌的。SuperViewW1白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。
可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
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