真空開關是一種檢測真空度范圍的開關,又稱真空繼電器。其作用是:當實際工作中所產生的真空度達到規定要求時,自動開閉控制電路,發出電信號,指令真空吸附機構正常動作。它屬于可靠性、安全性元件。真空開關分為機械式、半導體式和氣橋式三種類型。機械式真空開關是利用機械變位來確定真空壓力的變化,如膜片式真空開關。半導體式真空開關是利用半導體壓力傳感器來檢測真空壓力的變化,并能夠將檢測到的壓力信號直接轉換成電氣信號。中文名真空開關外文名Vacuumswitch過程自動測控系統內的壓力原理利用壓力傳感器原
查看詳情