S21 系列壓電旋轉臺為一維 θz 旋轉臺,產品體積小巧,旋轉角度可達 7.5mrad,承載能力達 0.1kg,可帶載鏡片等做精密旋轉運動。S50.U0C/K 系列壓電偏擺臺S50.U0C/K 系列壓電偏擺臺,是一維 θx 偏轉臺,它是專為大負載應用而設計,如模擬空間擾動應用。
S50.U0C/K 系列壓電偏擺臺的負載方式是側臥式,它的負載能力達7kg,100V 驅動電壓下的偏轉角度為 0.19mrad,對應的閉環階躍時間為 17ms。S50.U0C/K-D1 系列壓電偏擺臺S50.U0C/K-D1 系列為一維 θx 軸偏擺的壓電偏擺臺,它的承載能力可達 60kg,偏轉角度為 ±0.25mrad。它采用電容式閉環傳感器,分辨率可達 10nrad,并可在 20kg 載荷下高頻率工作。它非常適于大負載偏擺運動實驗,如空間擾動模擬等。S50.UR0C/K 系列壓電偏擺 / 旋轉臺S50.UR0C/K 系列為 θx、θz 軸偏擺 / 旋轉臺,承載能力可達 40kg,偏轉角度 ±0.25mrad。可帶載 20kg 負載高頻率使用。產品主要應用于大負載偏擺 / 旋轉運動實驗,例如模擬空間擾動實驗等。S50.UR0C/KA 系列壓電偏擺臺S50.UR0C/KA 系列壓電偏擺臺是專為大負載應用而設計,承載可達 5kg。它的閉環版本是采用電容式反饋傳感器,空載諧振頻率可達 1kHz。S51.ZT0S/K-B 系列壓電偏擺臺S51.ZT0S/K-B 系列壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺,可產生 θx、θy 兩軸偏轉及 Z 向直線運動,中心具有大型通孔,適于透射光等應用。S51 系列壓電偏擺 / 升降臺S51 系列是具有中心通孔的三維 θxθy 及 Z 軸運動的壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環定位精度高,80×80mm中心大通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學系統中。S51.ZT2S/K-C1 系列壓電偏擺臺S51.ZT2S/K-C1 系列壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺,可產生θx、θy兩軸偏轉及Z向直線運動,中心具有大型通孔,適用透射光等應用。S54.T0S/K-B 系列壓電偏擺臺S54.T0S/K-B 系列是客戶定制版壓電偏擺臺,可實現 θx、θy 二維偏擺運動。整體采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環定位精度高。結構緊湊,搭配大中心通孔設計,易于集成在顯微及掃描等光學系統中。S54.T0S/K-C 系列壓電偏擺臺S54.T0S/K-C 系列壓電偏擺臺,可實現 θx、θy 二維偏擺運動。整體采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環定位精度高。承載上限可達 8kg,適合大負載應用。中心通孔達 200mm×200mm,適用透射光等應用。S54.T2 系列壓電偏擺臺S54.T2 系列是具有中心通孔的二維 θxθy 軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環定位精度高,80×80mm 中心通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學系統中。H60 系列六自由度并聯機構H60 系列六自由度并聯機構,是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六軸運動工作臺,通過六支壓電促動器的并聯協調伸縮實現空間內六個自由度的運動,臺體結構緊湊,三種規格型號可供選擇,閉環型號定位精度更高,適用于六自由度微操作、微電子精密加工、檢測等應用。H61.XYZTR0 六軸壓電偏擺臺H61.XYZTR0 壓電偏擺臺可產生六軸的超精密運動,適用于靜態六軸的直線納米定位及角度納弧度偏轉,中心具有50mm×50mm 的通孔,適于透射光應用。XD500.T0S/K-B 壓電偏擺臺XD500.T0S/K-B 壓電偏擺臺為 θx、θy 二維偏轉的壓電偏擺臺,它的承載能力達 10kg,是專為大負載偏轉應用而設計。XD500.T4 系列壓電偏擺臺XD500.T4 壓電偏擺臺是二維偏擺的運動平臺,它的承載能力可達 1kg,大型移動臺面,適用于大型反射鏡的安裝及偏轉調節。XD502 系列壓電偏擺臺
XD502.ZT2S/K-B 系列壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺,可產生 θx、θy 兩軸偏轉及 Z 向直線運動。它的承載能力可達5kg,閉環重復定位精度可達 0.006%F.S.,適用于各種高精度應用領域。同時中心具有 55×55mm^2 的通孔,適用于透射光應用。
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