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硅晶塊、晶片的電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜的測量方法

來源:北京中慧天誠科技有限公司   2025年06月17日 22:01  
便攜式電阻率測試儀用于測量硅晶塊、晶片的電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的儀器。
儀器按照半導體材料電阻率的測試方法要求。儀器是由電器測量部份(主機)及四探針頭組成,需要時可加配測試架。
儀器用一塊數字表測量電流及電阻率。樣品測試電流是由恒流源提供,可進行校準,儀器可用于分選材料及產品檢測。對1~100Ω·cm樣片的測量誤差<±3%。
規格參數:
測量范圍:
測量電阻率:0.01~199.9Ω·cm
測方塊電阻:0.1~1999Ω/□
被測材料電阻率:≥200Ω·cm
數字表顯示:0.00
恒流源:
直流輸出電流:0.1mA~10mA分兩檔
                         0.1~1mA連續可調
                        1mA~10mA連續可調
恒流精度:±0.1%
直流數字電壓表
測量范圍:0~199.9mv
靈敏度:100μV 
準確度:0.2%(±2個字)
供電電源:AC 220V ±10%,50z/60Hz
功率范圍:8W
相對濕度:≤80%

便攜式電阻率測試儀/方阻測試儀

型號:GDS/KDY-1A


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