Metrology sensors GmbH開發和制造尖duan技術，以提高顯微鏡自動化和I系統的香吐量和質量。1SG的解決方案包括用于2和80表面的高速自動對焦系統、只寸測量傳感器電機控制和光電組件。MSG的技術應用于各種行業，包括半導體、晶圓和電子產品的自動光學檢測、顯示檢測和修復系統以及生物醫學視覺系統。MSG為其發揮的關鍵作用感到自豪，無論是在基礎研究、提高生產效率還是通過直接向品終用戶提供解決方案進行質量檢查，還是為OEM供應商提供嵌入式技術。

◆自動對焦傳感器:基于激光的焦點跟蹤系統LAF傳感器旨在實現光學檢測設備和工業顯微鏡的實時焦點跟蹤。該傳感器廣泛用于平板顯示器、電子器件和半導體的A0I系統我們的技術可實現以下焦點跟蹤:

無圖案表面

具有高對比度變化的圖案表面

具有高倍率透鏡的最小結構

功能:

混合激光/圖像跟蹤

三明治基板的多表面聚焦

自動設置

參考型號:LAF4、LAF5、LAF5-CH

◇LAF5直線激光自動聚焦跟蹤系統:

用于自動光學檢測(A0I)系統和工業顯微鏡的自動聚焦和跟蹤

傳感器投射一條激光線聚焦在樣品上

適用于放大倍率為2倍至100倍的無限校正透鏡，可見光、近紅外、V、DUVUI界面和軟件庫

◆電機驅動器接口:

為了能夠將sG的自動對焦傳感器快速簡單地集成到現有的機器設計中，ISG為步進電機和伺服電機驅動器提供了優化的控制，以實現最佳性能的閉環系統。LAF-C2電機接口

LAF-C3電機接口與照明端口

LAF-C2用于LAF自動聚焦和跟蹤傳感器的步進/同服電機驅動接口

單個連接到LAF傳感器，從msc自動對焦到您的機器的所有連接都通過LAF-C2

雙向脈沖輸出電流源，用于驅動步進/伺服驅動器的光隔離器

高質量聚焦信號的模擬輸出

可選:

模擬輸出給出距離信號或具有未來的可配置速度信號固件發布(控制伺服驅動器限位開關和安全停止的輸入RS232，用于與PC進行傳感器通信◇LAF5S-C2:1xLAF5傳感器&1xLAF-C2步進/同服驅動控制器

德國MSG、MSG傳感器、MSG伺服驅動器、MSG控制器