氦質(zhì)譜檢漏是指從真空室外部向被檢部位吹入氦氣，然后通過與真空室相連的真空箱的氦檢漏回收裝置檢測侵入的氦氣，是目前常用的真空檢漏方法。真空箱氦檢漏回收設(shè)備的基本原理描述如下:燈絲產(chǎn)生的熱電子加速流入陽極，遇到氣體分子后電離。當(dāng)離子向收集器方向運動時，設(shè)置一個磁場，使離子在洛倫茲力的作用下沿圓形軌跡運動。質(zhì)量為m、電荷為e的離子的圓軌道半徑與質(zhì)荷比m/e有關(guān)。適當(dāng)設(shè)置出氣口的位置，使m/e=4，即He+可以通過出氣口，而與氦不同質(zhì)荷比的其他離子不能通過出氣口。由于其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的狹縫設(shè)置不同，真空箱的氦檢漏回收裝置只能檢測一價氦離子。真空箱氦氣檢漏回收裝置性能穩(wěn)定，靈敏度高。評價真空箱氦氣檢漏回收設(shè)備的主要指標(biāo)是靈敏度、反應(yīng)時間、清除時間、工作真空度、極限真空度和儀器入口抽氣速度。使用氦氣檢測氣體的主要原因有:(1)對人體和自然環(huán)境無害；(2)不能安全燃燒和工作；(3)惰性氣體和被測物體不會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；(4)分子直徑小，質(zhì)量小，容易通過微小縫隙，容易被檢測到泄漏；(5)正常環(huán)境下，氣體狀態(tài)不會堵塞漏氣孔；(6)真空室本身釋放的氣體幾乎不含氦氣；(7)氦氣在空氣中只存在5ppm，很容易定位氣體泄漏點。由于氦氣比空氣輕得多，所以當(dāng)氦氣被送到真空室進行檢漏時，要自上而下操作，否則不利于泄漏點的判斷。當(dāng)腔體結(jié)構(gòu)復(fù)雜或泄漏率極小時，可以將關(guān)鍵部件包裹在塑料袋中，然后向塑料袋中注入氦氣，實現(xiàn)對關(guān)鍵部件的泄漏率檢測。一般來說，真空檢漏主要集中在以下幾個方面:(1)法蘭接口；(2)焊縫；(3)波紋管；(4)其他密封處。實驗室發(fā)現(xiàn)漏氣較多的原因是:密封面或墊片不干凈，法蘭螺栓扭矩不均勻。