真空箱氦檢漏中氦質譜檢測系統的關鍵部件是進口設備，性能穩定可靠，能夠滿足各種需求。真空箱氦泄漏檢測顯示長體積和的性能，適用于許多行業。真空箱氦泄漏檢測采用氦質譜和反擴散原理。采用分子泵，180°磁場不均勻，采用全自動控制技術，實現氦峰自動掃描、自動調零、自動校準、自動量程切換。它具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾性好等優點。氦質譜檢漏儀可以檢測微電子或半導體器件封裝腔體的氣密性。該檢測方法使用的示蹤氣體為氦氣，質量小、重量輕、滲透性強，達到了精細檢漏的目的。真空箱氦泄漏檢測有五個特點:一是檢測時間和響應周期很短，可達2s以內；二是常用檢測介質，只需壓縮空氣；三、大泄漏有多種防護方法，充分保護離子源在暴露于大氣中時不受氧化沖擊和沖擊；四、大檢漏功能:通過預設壓力，可以排空，但達不到預設值，檢漏儀自動給出報警提示。多個測量單位的選擇，檢測數據的實時更新，直接輸出，Excel表格的生成。采用真空法檢漏時，應使用輔助真空泵或檢漏器對被檢產品的內密封室抽真空，并用氦氣或空氣射流向被檢產品表面注入氦氣。當被檢產品表面有漏孔時，氦氣通過漏孔進入被檢產品內部，然后通過氦質譜檢漏儀送到被檢產品的測漏裝置。真空法按漏氣方式可分為真空噴射法和真空氦氣面罩法。其中真空氦掩膜法是用噴槍向被測產品外表面吹氦氣的方法，可以實現漏孔的定位；真空氦罩法用具有一定密封功能的氦罩覆蓋所有待檢產品，使待檢產品充滿一定濃度的氦氣，可以測量待檢產品的總泄漏率。