掃描電子顯微鏡的構(gòu)成及基本原理介紹

來源：上海西努光學(xué)科技有限公司 2024年09月09日 10:36

掃描電子顯微鏡的構(gòu)成及基本原理如下：

1. 電子光源和電子槍

掃描電子顯微鏡的核心部件是電子光源和電子槍。電子光源發(fā)射出高能電子束，而電子槍則起到加速和聚焦的作用。電子束在掃描過程中像激光束一樣從樣品表面掃過，與樣品相互作用后形成信號(hào)。

2. 掃描探針和信號(hào)檢測(cè)器

掃描探針由電子束和信號(hào)檢測(cè)器組成。電子束聚焦后，從樣品的表面上下掃過，與樣品上的原子和分子相互作用并形成反應(yīng)。信號(hào)檢測(cè)器會(huì)收集這些反應(yīng)產(chǎn)生的信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)化為圖像。

3. 顯示器和圖像處理系統(tǒng)

掃描電子顯微鏡的成像結(jié)果通常通過顯示器和圖像處理系統(tǒng)進(jìn)行展示和處理。掃描電子顯微鏡的高分辨率圖像需要借助圖像處理軟件來進(jìn)行后期處理，以提高圖像的質(zhì)量和細(xì)節(jié)。

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