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真空腔體溫度監控 多區溫度檢測-高精度溫度計量檢測

來源:上海智與懋檢測儀器設備有限公司   2023年04月24日 11:36  

真空腔體溫度監控 多區溫度檢測-高精度溫度計量檢測

真空腔體是為減少了半導體應用中真空腔的個數而研發的一種結構,其晶圓容量幾乎不變,真空腔體在很多材料的加工生產中起到非常重要的作用,而且在腔體內進行材料加工時,需要調節溫度,從而使真空腔內部的滿足生產工藝的需求。現有的設備例如一些真空管式爐設備,在工作時通過電阻絲進行加熱,能夠使真空腔快速升溫,進而滿足工作需求,但在加熱過后,加熱絲依舊能提供熱量,工作后的余熱會導致溫度進一步緩慢上升,溫度過高容易損壞儀器,對于整體的溫度沒有很好的控制,會影響工作的進行。

真空腔體溫度監控 多區溫度檢測-高精度溫度計量檢測

合肥智測電子目前已經建成軟件、硬件研發實驗室,溫度傳感器組裝和測試生產線,擁有完善的高精度溫度校準能力。我們的產品被國內頭部集成電路設備和制造企業采用,具有較強的定制開發能力

我們的高精度溫度傳感器變送器等應用于

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