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真空腔體溫度監(jiān)控 多區(qū)溫度檢測(cè)-高精度溫度計(jì)量檢測(cè)

來(lái)源:上海智與懋檢測(cè)儀器設(shè)備有限公司   2023年04月24日 11:36  

真空腔體溫度監(jiān)控 多區(qū)溫度檢測(cè)-高精度溫度計(jì)量檢測(cè)

真空腔體是為減少了半導(dǎo)體應(yīng)用中真空腔的個(gè)數(shù)而研發(fā)的一種結(jié)構(gòu),其晶圓容量幾乎不變,真空腔體在很多材料的加工生產(chǎn)中起到非常重要的作用,而且在腔體內(nèi)進(jìn)行材料加工時(shí),需要調(diào)節(jié)溫度,從而使真空腔內(nèi)部的滿足生產(chǎn)工藝的需求。現(xiàn)有的設(shè)備例如一些真空管式爐設(shè)備,在工作時(shí)通過(guò)電阻絲進(jìn)行加熱,能夠使真空腔快速升溫,進(jìn)而滿足工作需求,但在加熱過(guò)后,加熱絲依舊能提供熱量,工作后的余熱會(huì)導(dǎo)致溫度進(jìn)一步緩慢上升,溫度過(guò)高容易損壞儀器,對(duì)于整體的溫度沒(méi)有很好的控制,會(huì)影響工作的進(jìn)行。

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