真空腔體溫度監(jiān)控 多區(qū)溫度檢測-高精度溫度計量檢測

真空腔體是為減少了半導體應(yīng)用中真空腔的個數(shù)而研發(fā)的一種結(jié)構(gòu)，其晶圓容量幾乎不變，真空腔體在很多材料的加工生產(chǎn)中起到非常重要的作用，而且在腔體內(nèi)進行材料加工時，需要調(diào)節(jié)溫度，從而使真空腔內(nèi)部的滿足生產(chǎn)工藝的需求。現(xiàn)有的設(shè)備例如一些真空管式爐設(shè)備，在工作時通過電阻絲進行加熱，能夠使真空腔快速升溫，進而滿足工作需求，但在加熱過后，加熱絲依舊能提供熱量，工作后的余熱會導致溫度進一步緩慢上升，溫度過高容易損壞儀器，對于整體的溫度沒有很好的控制，會影響工作的進行。

真空腔體溫度監(jiān)控 多區(qū)溫度檢測-高精度溫度計量檢測

合肥智測電子目前已經(jīng)建成軟件、硬件研發(fā)實驗室，溫度傳感器組裝和測試生產(chǎn)線，擁有完善的高精度溫度校準能力。我們的產(chǎn)品被國內(nèi)頭部集成電路設(shè)備和制造企業(yè)采用，具有較強的定制開發(fā)能力

我們的高精度溫度傳感器變送器等應(yīng)用于

半導體制造裝備測溫

真空環(huán)境測溫

生物醫(yī)療過程測溫

環(huán)境潔凈工程(精密光學儀器使用環(huán)境工程、半導體制造環(huán)境工程等)

電子工業(yè)工程(精密電子無塵室、精密機械無塵室、注塑涂裝無塵室、激光彩印無塵室)