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熱式氣體質量流量計如何選型

來源:珠海諾美特工業技術有限公司   2022年08月06日 08:33  

熱式氣體質量流量計是用于測量和控制氣體質量流量的儀表,區別于其它氣體流量計,不需要進行壓力和溫度修正,直接測量氣體的質量流量。

可應用于:

半導體制造行業;

分析儀器設備行業;

各種形式的真空鍍膜設備;

環境檢測與分析設備;

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業;

特種材料表面處理裝置與燃燒;

混氣配氣系統和泄露探測系統等。

氣體質量流量計選型的時候需要注意一下幾方面問題:

1.通過的介質。氣體流量計適用于各種氣體,包括特殊氣體和腐蝕性氣體。以腐蝕性氣體為例:腐蝕性氣體通過流量計的時候如果流量計沒有經過特殊處理過,會因為腐蝕性氣體的特性,造成密封元件等方面的故障,從而影響到了流量計的正常使用,因此相關特性的介質在選型的時候需特別關注密封材料等信息,如全金屬密封,耐氨橡膠等密封材質。另外像氫氣、甲烷等可燃性氣體需注意氣體濃度過高所造成的爆點問題等等。

2.量程范圍(或者稱之為流量范圍)。在流量計選型的時候,首先要確定所需流量計的量程問題,以HORIBAMETRON(堀場匯博隆)公司產品為例:公司產品以氮氣(N2)來標定,如用其他氣體時需要進行換算,非氮氣介質時是以氮氣與該氣體轉換系數來換算以確定標定流量。

3.壓力范圍。HORIBAMETRON流量計耐壓3MPa, 壓差范圍為(0.05-0.3)MPa。3MPa以內可直接安裝使用;需注意的是有些行業需要在高壓狀態下工作,要明確壓力范圍是否滿足。

4.接口通徑。選擇接口時需針對管路狀況進行選擇,就目前而言以Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),軟管接頭Ф4mm~Ф10mm等為主 。

5.供電電壓和控制。以HORIBAMETRON流量計而言,供電電壓有±15V和24V兩種。控制接口有9針和15針的,也有9孔和15孔的。

6.通信協議。相對于數字式流量計而言很多時候都會涉及到通信協議問題,以 MODBUS 、Profibus、DeviceNet為標準,在選擇時注意協議類型。備注(某些行業在選擇流量計時模擬控制就可滿足要求)需注意。

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