如何判斷工業爐真空系統故障呢？工業爐在重工業有著非常廣泛的應用，但是隨著使用年限的加長以及人為操作的原因，經常發生工業爐的故障，而這些故障又是非常難以發現的，如果故障不及時處理，會嚴重影響工業品的質量及對環境造成非常嚴重的影響，因此本文就簡單介紹工業爐真空系統故障應當如何檢測。
    一、擴散泵抽氣能力的判斷方法，正常操作設備，依次開啟機械泵和羅茨泵，當爐內真空壓力可以達到擴散泵的啟動條件，擴散泵就可啟動。如果擴散泵開啟一段時間后，爐內極限真空壓力不能達到工藝要求，則擴散泵有問題。
    二、機械泵、羅茨泵抽氣能力的判斷方法，首先關閉圖1中的主路閥和旁路閥。然后單獨開啟機械泵，一段時間后讀取管路中極限真空壓力數值，對比說明書上機械泵出廠的極限壓力指標，即可判斷出泵的性能好壞。同樣關閉圖1中的主路閥和旁路閥。
    三、真空泵的判斷方法，如果系統不漏氣，那有可能就是真空泵壞了，但在進行真空泵檢測前，先看一下泵油的情況，如果油渾濁或已經氧化變質，就先換油再試。
    四、真空室或管路漏氣的判斷方法，首先測定并計算“升壓率”，如果升壓率低于設備允許值 (例如：要求<0.667Pa/h)，可以認為爐子不漏氣，反之漏氣。漏氣可以應用檢漏儀檢漏。
    五、羅茨泵測試方法，極限壓力和抽氣速率的計算方法，與機械泵相同。但需要注意測試條件：擴散泵加熱功率及冷卻條件應符合泵的規定;擴散泵油種類、牌號和用量以及配用前級泵均應符合泵的規定。
    六、抽氣速率測量法，采用定壓法測泵的抽氣速率S。從試驗罩流過的氣體流量Q(觀察流量計)與規定位置上的平衡壓力p(略高于極限壓力的適當值)的比值，即：S=Q/p (L/s)。
    工業爐在工業體系中有著非常廣泛的應用，但是在實際的工作中，由于各種原因而會發生故障，因此電力工作者在實際工作中，需要對工業爐進行精心維護，發現故障后及時排查并且做好相應的記錄，保障工業生產的有序進行。