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何為程控伺服型勻膠機(jī)

來(lái)源:北京銘成基業(yè)科技有限公司   2020年09月21日 15:11  

AC200-SE程控伺服勻膠機(jī)

性能特點(diǎn):

1.兩種型號(hào)可選:AC200-SE(標(biāo)準(zhǔn)型)和AC200-PE(型)

2.內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小設(shè)備尺寸,7寸觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作

3.標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm,可根據(jù)用戶需求進(jìn)行定制,

4.工業(yè)級(jí)伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部

5.機(jī)身選用耐腐蝕不銹鋼,內(nèi)腔采用耐腐蝕HDPE材料,排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺(tái)底部(利于排風(fēng)效率和勻膠一致性)

6.透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣體的散發(fā)

技術(shù)參數(shù):

程序設(shè)定:可存儲(chǔ)100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可精確到0.1秒

轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-10000rpm(高速可定制)

旋涂加速度:0-50000rpm/see(空載)

馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性誤差:小于正負(fù)1rpm(AC200-SE);0.1rpm(AC200-PE)

工藝時(shí)間設(shè)定:0-3000sec/step,

時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec

支持wafer尺寸:碎片至200mm

旋涂作業(yè)均勻性:小于正負(fù)3%在6英寸范圍內(nèi)

外形尺寸:433*306*306

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