熱式氣體流量流量計是基于熱擴散原理的流量儀表。即是利用流體流過發物體時，發熱物體的熱量散失多少與流體的流量成一定比例關系進行測量；流體經過時，兩者之間的溫度差與流量的大小成非線性關系，該儀表就可以把這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。熱式氣體流量流量計的應用場合包括：電、氣、水處理的監控、石油與天然氣工業、電力行業、化學行業、冶金行業、紙漿與造紙行業、食品及醫藥行業、環保等行業。

熱式氣體質量流量計主要分兩大類，即熱分布式和插入式。

1、熱式氣體質量流量計的特點

（1）熱分布式質量流量計的主要特點：直接測量質量流量無需溫壓補償；非接觸式，無活動部件，無阻流件，壓力損失小，可靠性高；可測量低流速微小氣體流量，低5mL/min（標準狀態）；要求氣體介質干燥潔凈，不含水分、油等雜志；分流型可獲線性特性，可用于測量大、中氣壓流量，使用時要保證分流溫度；動態響應慢，時間常數5s左右。

（2）插入式熱式質量流量計的主要特點：直接測量質量流量無需溫壓補償；無活動部件，可靠性高；大口徑、非圓截面管道、現場空間狹窄處可采用插入式測量；檢測作為帶不銹鋼外殼的鉑電阻傳感器，對于其他中的粉塵、固體顆粒、油分、水分不敏感。插入式可以不斷流取出維修更換。也適用于測量臟污流體測量。

2、熱式氣體質量流量計的選用

（1）針對小、微量氣體流量，熱分布式質量流量計可用于單一組分氣體或固定比例的混合氣體測量。

（2）大口徑流量測量中可選用插入式熱式質量流量計。

3、熱式氣體質量流量計選型時應考慮的幾大因素

（1）介質溫度。熱式氣體質量流量計基于熱擴散原理設計而成，流量計的探針是根據被測介質溫度來決定探針加熱溫度的，一般探針加熱溫度比介質溫度高50度。由此可以看出，流量計在正常測量時要求被測介質溫度較為恒定，此時加熱電流與介質流量成比例關系；

（2）介質成分。熱式氣體質量流量計幾乎可測量所有單一氣體介質（乙炔除外），但是在實際測量中有不少混合氣體需要測量，此時選用熱式氣體質量流量計時，就對混合氣體有要求。所有氣體流量儀表標定時均用空氣來作為被測介質，單一介質時可查得出標準的轉換系數。然而混合氣體需要根據現場時間被測介質成分百分比來折算轉換系數，但是當測量時介質成分發生變化，則會增大流量計測量誤差；

（3）壓力。熱式氣體質量流量計不建議在高壓工況環境下使用。熱式測量的重要的一點就是介質的攜熱量，當現場的壓力過高時，單位體積內介質的攜熱量很大，在壓縮系統與反應速率的雙重影響下，使得流量計的測量值將會小于實際使用時，因此建議熱式氣體質量流量計在4.0Mpa以內使用。

（4）高溫。測量高溫介質意味著傳感器的耐溫更高，同時測量高溫介質時整機電路耗電功率增大，現階段熱式氣體質量流量計可耐高溫至400度，可滿足絕大多數現場要求。