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方塊電阻測試儀可靠性研究

來源:廣州市盈翔嘉儀器儀表有限公司   2014年10月20日 11:48  

方塊電阻測試儀可靠性研究

隨著濺射技術、靶材技術的發展深入和成熟,使以氧化銦錫透明導電玻璃(ITO玻璃)為代表的導電薄膜材料的制造和應用越來越廣泛。ITO玻璃目前是與液晶顯示等平面顯示技術配套的關鍵組件。從1987年起至今,ITO玻璃的制造在國內已有二十年的歷史。產品已廣泛用于電子手表、計算器、游戲機、、電腦顯示器、平面電視等消費類產品,以及各種光電儀器設備和科學實驗中的透明導電電極等?,F在,國內已有ITO玻璃生產企業的單位年生產能力由60萬片提高到了2000萬片。產品也從TN型ITO玻璃,延伸到STN型、觸摸屏、彩色濾光片眾多品種。

     面對越來越大量的導電薄膜材料的生產制造,如何保證產品的質量?除了要求生產企業的生產線穩定性不斷提高,檢測技術在此也提供了強有力的支撐作用。
     ITO玻璃的產品質量檢測包括以下幾個方面:尺寸、面電阻、蝕刻性能、ITO膜層耐堿性、光電性能和可靠性等。除尺寸方面的檢測僅與玻璃原片有關外,其余幾個方面都與ITO玻璃生產的工藝過程有關。由于國內大多數ITO玻璃生產企業自己不生產玻璃原片,所以,與生產企業有關的ITO玻璃產品質量參數就是:面電阻、蝕刻性能、ITO膜層耐堿性、光電性能和可靠性等。
     實際上,在ITO玻璃的生產過程中,檢測zui多的參數是ITO玻璃的面電阻。根據在不同崗位的檢測需要,生產企業分別使用手提式和臺式兩種面電阻測量儀。而手提式面電阻測量儀相對使用較多。

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