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產地	進口	加工定制	否

加野粒子計數器3950半導體制造中的應用

應用范圍

作為傳感器嵌入到設備裝置中

潔凈室的清潔度管理

高清潔度區域的管理

重視可視性，大畫面，觸摸屏顯示器，可在附帶軟件上顯示測試數據

雙通道： 0.1μm 0.3μm

額定流量：2.83umin

通過實現超小型化設計，使粒子計數器嵌入裝置設備成為可

0.1 um測量

4.3英寸彩色液晶

標配RS-485,Ethernet,USB

小型化！重量大幅度輕量化

以往的尺寸很難嵌入組裝在半導體制造等裝置中，

本產品通過壓倒性的小型化，使傳感器嵌入設備中使用變為簡便易行。

加野粒子計數器3950半導體制造中的應用

品名		塵埃粒子計數器
型號		3950-00
粒子測量	測試方法	光散射法
	粒徑通道	2粒徑（0.1、0.3μm）
	額定流量	0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)
	測量時間	6秒~99分59秒（1次測量時間）
	間隔時間	6秒~99分59秒（測量周期）
	采樣次數	1~999次或連續測試
	地點設定	99個地點
	測量方式	重復、單次、連續、計算
	測量數據顯示時間	1~10秒
	測量數據顯示	累計值∑ 差分值△及柱形圖
	最大可測濃度	10,000,000個/m3
	計數效率	50±20%（相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子） 100±10%（相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	偽計數	<1個/35min
	粒徑分辨率	15%以下（相對0.3μm的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	氣源	內置泵
顯示器		4.3英寸彩色液晶觸摸屏
通迅功能	本體	USB（Host用于打印機、USB存儲；Device用于與PC鏈接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）
數據存儲	媒體	內存
數據存儲	數量、格式	最大10,000個、CSV格式
顯示語言		英文、日語
電源		AC100~240V
使用環境	本體	15~35℃、0~85%RH （無結露）
外形尺寸		W150 X H163 X D228 mm
重量		3.4kg