Hydra-Dry威卡（WIKA）超高純壓力傳感器 

應用

半導體工業

UHP液體化學品輸配系統

功能特性

Hydra-Dry威卡（WIKA）超高純壓力傳感器 

獲得的雙膜片設計

*干燥：非金屬陶瓷傳感器，無充液

接液部件材質為氟烷氧基 (PFA)

傳感器即使在安裝后也可以270°旋轉

防護等級高達IP 65或IP 67

可選：HYDRA-Indicator型面板安裝式或集成式顯示器

描述

HYDRA-line系列產品

HYDRA-line系列壓力測量儀表是我們和半導體企業（威卡客戶）聯合開發而成。所有該系列產品都滿足過程設備和UHP化學品輸配系統的特殊應用要求。

HYDRA-Dry壓力傳感器具有高精度、高可靠性、超潔凈的接液部件和表面。產品沒有使用充液，不會造成污染。

此外，所有接液部件的生產、清潔組件的裝配、校驗和包裝均是在100級無塵室中完成的。

雙重安全

獲得的HYDRA雙膜片系統可以安全可靠地將壓力傳感器與工作介質隔離開。此外，該型號產品還會將HF或HCI蒸汽等擴散介質排到外部環境中，從而可防止造成錯誤的測量結果或破壞傳感器元件。