FlexSEM1000是日立高新公司推出一款機型小巧的性能好的鎢燈絲電鏡，擁有大束流和低球差物鏡和聚光鏡的設計，配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭，具有的低真空成像能量，并且采用的SEM MAP高精度導航系統及的自動化功能，使性能更加*，使用更加簡便。
特點
1.節能環保的設計
2.高效率的自動功能
3.簡捷的操作界面
4.高分辨低真空觀察

詳細介紹

FlexSEM1000是日立高的新的公司推出的一款機型小巧性能優異的鎢燈絲電鏡，擁有大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設計，配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭，具有的低真空成像能量，并且采用的SEM MAP高精度導航系統及的自動化功能，使性能更加*，使用更加簡便。

特點

1.節能環保的設計

2.高效率的自動功能

3.簡捷的操作界面

4.高分辨低真空觀察

技術參數

分辨率	4.0nm（加速電壓20kV，高真空模式，二次電子像）
	15.0nm（加速電壓1kV，高真空模式，二次電子）
	5.0nm（加速電壓20kV，低真空模式，背散射電子像）

放大倍率	底片倍率：6 – 300,000x
	顯示器倍率：16 – 800,000x

加速電壓	0.3-20kV
低真空可變壓力范圍	6-100Pa
馬達臺	標配三軸自動馬達
行程	X： 0-40mm
	Y： 0-50mm
	R： 360 °
	Z： 5-15mm
	T： -15- 90°
電子光學系統	電子槍：預對中鎢燈絲
電子光學系統	信號檢測系統：二次電子探測器；高靈敏度背散射探測器

真空系統	全自動閥門控制抽真空系統/渦輪分子泵：61L/S 1臺
	機械泵：100L/min 1臺
	安全裝置：帶停電、漏電保護的真空保護功能
操作輔助功能	電子束旋轉；動態聚焦；畫質優化功能
	數據輸入；2點間測量、角度測量、文字；預設倍率；
	樣品臺位置導航功能（SEM MAP)；電子束標記