掃頻下薄膜介電常數(shù)及損耗曲線的重要性和意義

   關(guān)鍵詞：薄膜介電, 介電常數(shù), 損耗,曲線圖

                         掃頻下薄膜介電常數(shù)及損耗曲線的重要性和意義

薄膜是一種薄的材料層，通常用于電子器件、光學(xué)器件和太陽能電池等領(lǐng)域。薄膜的介電常數(shù)是描述其在電場(chǎng)中所表現(xiàn)出的電介質(zhì)性質(zhì)的物理量。介電常數(shù)是用于衡量材料對(duì)電場(chǎng)的響應(yīng)能力的指標(biāo)，即材料對(duì)外界電場(chǎng)的感應(yīng)程度。在薄膜的應(yīng)用中，其介電常數(shù)的大小直接影響著薄膜的電學(xué)特性以及相應(yīng)器件的性能。

薄膜介電常數(shù)是指薄膜材料在無限大頻率下的介電常數(shù)。它是由材料的極化效應(yīng)所決定的，描述了材料在電場(chǎng)作用下的極化程度。介電常數(shù)可以分為實(shí)部和虛部，分別對(duì)應(yīng)薄膜材料的介電極化性質(zhì)和耗散性質(zhì)。實(shí)部反映了材料在電場(chǎng)下的極化程度，而虛部則代表了能量損耗。

薄膜介電常數(shù)的測(cè)量是通過對(duì)薄膜材料在不同頻率下的電容或電感進(jìn)行測(cè)量來實(shí)現(xiàn)的。常見的測(cè)量方法包括電容法、斯托克斯法和微波諧振腔法。這些方法可以提供薄膜在特定頻率范圍內(nèi)的介電常數(shù)值，并能夠確定其實(shí)部和虛部的大小。

薄膜介電常數(shù)的測(cè)量是通過對(duì)薄膜材料在不同頻率下的電容或電感進(jìn)行測(cè)量來實(shí)現(xiàn)的。常見的測(cè)量方法包括電容法、斯托克斯法和微波諧振腔法。這些方法可以提供薄膜在特定頻率范圍內(nèi)的介電常數(shù)值，并能夠確定其實(shí)部和虛部的大小。

JKZC-BMZD01型薄膜介電常數(shù)（ε）及損耗測(cè)試儀（tgd）

三電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：

微調(diào)千分尺：微調(diào)千分尺具備0.001mm的調(diào)節(jié)精度，可精細(xì)化調(diào)節(jié)上下電極之間的距離。

平行板測(cè)試電極：下電極固定在底部支撐座，上電極可由微調(diào)千分尺調(diào)節(jié)行程距離。上電極帶有保護(hù)電極。

上電極片：上電極標(biāo)配有2mm球頭電極、φ26.8mm圓片電極和φ38mm圓片電極?？筛鶕?jù)樣品大小隨時(shí)更換。

鎖緊裝置：當(dāng)樣品放入上下電極之間后，可調(diào)節(jié)此鎖緊裝置，固定上下電極的調(diào)節(jié)行程。防止輕微移動(dòng)引起的刻度偏差。

嚴(yán)格按照ASTM D150國際標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)，電極表面鍍金處理，導(dǎo)電性能好、抗氧化，使用壽命更長(zhǎng)

一、真正的三電極設(shè)計(jì)

介電夾具基于ASTM D150標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法，采用三電極法設(shè)計(jì)。上電極+下電極+保護(hù)電極，電極表面鍍金處理，導(dǎo)電性能好、抗氧化。為消除測(cè)試連接線阻抗及連接線之間相互耦合對(duì)測(cè)試的影響，儀器與夾具電極連接采用4端對(duì)法。

得益于測(cè)試線纜和電極引線的良好屏蔽，屏蔽層直達(dá)測(cè)試電，因此獲得更高的校準(zhǔn)頻率。

2.校準(zhǔn)頻率最高可達(dá)100MHz

適配的阻抗分析儀更加豐富，充分利用測(cè)試儀器的測(cè)試頻率范圍（20Hz-120MHz），以滿足測(cè)試樣品對(duì)更高頻率的要求。

3.高精度調(diào)節(jié)行程

適配高精度微調(diào)千分尺，可調(diào)精度為0.001mm，

上電極可調(diào)行程為12mm，并帶有鎖緊裝置，可有效鎖定當(dāng)前刻度位置，確保測(cè)試的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

標(biāo)配26.8/38mm尺寸電極片，可滿足不同尺寸樣品測(cè)量，樣品安裝方便、簡(jiǎn)單

主要技術(shù)參數(shù)：

1、測(cè)試頻率：DC~100MHz

2、樣品要求：雙面涂覆電極，保持平整、光滑

3、樣品尺寸：2mm≤φ≤60mm，厚度≤10mm

4、電極圓片：無。有效面積：樣品上下涂覆電極垂直重疊部分面積

5、誤差分析：存在邊緣電容，樣品表面凹陷處被導(dǎo)電體填充

6、測(cè)試接口：4個(gè)SMA母頭

7、上電極：φ2mm球頭電極+φ26.8mm圓片電極+φ38mm圓片電極

8、保護(hù)電極：上電極帶保護(hù)電極，電極表面鍍金

9、上電極壓力調(diào)節(jié)：12mm行程調(diào)節(jié)，用于上電極與樣品良好的電性能接觸

10、帶電極樣品尺寸：2mm≤φ≤60mm，厚度≤10m

11、設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)：ASTM D150和D2149-97國際標(biāo)準(zhǔn)，GB/T1409-2006國家標(biāo)準(zhǔn)

12、電極結(jié)構(gòu)：兩平行板電極+保護(hù)電極，三電極結(jié)構(gòu)

13、電極引線：同軸屏蔽線，消除電磁干擾對(duì)測(cè)試影響

14、下電極：φ60mm鍍金圓片電極

15、上電極行程調(diào)節(jié)：12mm行程調(diào)節(jié)，用于樣品安裝

16、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：數(shù)據(jù)庫保存各類實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，同時(shí)輸出TXT、XLS、BMP等格式文件，對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)提供豐富的查詢與分析，輸出圖形與數(shù)據(jù)。