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橢圓偏振測厚儀 橢圓測厚儀
型號：LDX-SGC-1A
技術(shù)指標(biāo)：
編號
名稱
參數(shù)
1
測量范圍
1nm-300nm
2
測量Z小值
≤1nm
3
入射角
30°～90°誤差≤0.1°
4
偏振器方位角讀數(shù)范圍
0°～180°
5
度盤刻度
每格2度
6
游標(biāo)Z小讀數(shù)
0.05°
7
光學(xué)中心高度
152mm
8
工作臺(tái)直徑
φ70mm
9
外形尺寸
730mm×230mm×290mm
10
主機(jī)重量
20kg
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