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濰坊普分儀器有限公司


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等離子清洗機

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具體成交價以合同協議為準

產品型號PDC200/210/510

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地

聯系方式：劉女士查看聯系方式

更新時間：2022-05-14 11:53:05瀏覽次數：86次

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經營模式：生產廠家

商鋪產品：204條

所在地區：山東濰坊市

聯系人：劉女士 （銷售）

產品簡介

日本雅馬拓等離子清洗機YAMATO雅馬拓、等離子清洗機PDC510

詳細介紹

日本雅馬拓等離子清洗機，山東總負責，

YAMATO雅馬拓、等離子清洗機PDC510
儀器簡介：

研究開發用*適合等離子清洗機
等離子清洗機、用途：
CSB/BGA/COB基板的等離子處理
有機膜和金屬氧化膜的除去
印刷電路基板的干洗
界面活性處理

等離子清洗機、技術參數：

型號
PDC200
PDC210
PDC510
模式
RIE模式（DP選配）
DP模式
DP/RIE切換方式
電極構造
平行平板電極（固定）
高頻輸出功率
MAX300W
Max 500W
頻率
13.56MHz
控制方式
自動聯動，液晶觸摸屏控制
反應室尺寸
400×250×150mm
500×300×200
電極尺寸
250×170mm
400×200mm
反應室材質
一次性一體成型鋁腔（防腐蝕，可對應CF4）
反應氣體
2系統（Ar/O2）
填充氣體
N2/潔凈干燥空氣
反應氣體流量控制
流量計
聚合控制器
真空泵
另行選配
油回旋真空泵（排氣量345L/min）
油回旋真空泵（排氣量500L/min）
氣體導入口
反應氣體2套，填充氣體1套
外型尺寸
540×600×600mm
540×600×600mm
700×700×700mm
電源
單相AC100V 15A 50/60Hz
三相AC100V 15A 50/60Hz


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