王亞波
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PARKER直動式壓力閥,派克直動式壓力閥
實現Z系統性能。加之 VSO? 低流量微型比例閥能夠在各種介質上實現控制，
因此是氣相色譜和質譜設備制造商的之選。
? 能夠實現的低流量 (0 - 500 sccm) 控制，
清潔度 經過分析的清潔（Analytically Clean）
閥門配置類型 2路常閉
提高儀器準確度 ? 通過熱補償在各種介質中保持流量
泄漏率 <0.2 SCCM的氦氣
功耗（W） Z大功率2.0瓦
重量（磅） 2.2 oz (62.9g)
低流量閥為要求流量控制在 0 - 500 sccm 之間的應用提供增強型流量控制。
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和 VSO 微型比例閥一樣，
VSO? 低流量微型比例閥可提供與輸入電流成正比的氣體流量控制。
閥門可通過直流電流或脈寬調制電流配合閉環反饋進行控制，
? 計算機自動校準和序列化，實現了性能可追蹤性 ? 已清洗，
可用于氧氣和分析 ? 經過驗證的性能，
開關循環數可達 1000 萬 ? 符合 RoHS 指令 典型應用：
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