BALLUFF位移傳感器BTL7-S573B-M1250-CD-S32
其是靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，
靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差
將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過(guò)程的變化。
第三是線(xiàn)性誤差：這是一個(gè)對(duì)壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，
該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線(xiàn)性，但對(duì)于帶放大器的傳感器，
還應(yīng)包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹形曲線(xiàn)，也可以是凸形曲線(xiàn)稱(chēng)重傳感器。
Z后是滯后誤差：在大多數(shù)情形中，壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計(jì)
因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮
壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的，我們只能選擇高精度的設(shè)備，
利用來(lái)降低這些誤差，還可以在出廠的時(shí)候
進(jìn)行一點(diǎn)的誤差校準(zhǔn)，盡Z大的可能來(lái)降低誤差以滿(mǎn)足客戶(hù)的需要。
BALLUFF位移傳感器是工業(yè)實(shí)踐中Z為常用的一種傳感器。一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號(hào)，
模擬信號(hào)是指信息參數(shù)在給定范圍內(nèi)表現(xiàn)為連續(xù)的信號(hào)。
或在一段連續(xù)的時(shí)間間隔內(nèi)，其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現(xiàn)為任意數(shù)值的信號(hào)。
而我們通常的壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的，這樣的傳感器也稱(chēng)為壓電傳感器。
其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展
，半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。
半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，
通過(guò)外力（壓力）使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
靜電容量型壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動(dòng)極相對(duì)而形成電容，
將通過(guò)外力（壓力）使可動(dòng)極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號(hào)。
（E8Y的動(dòng)作原理便是靜電容量方式，其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式）。
BALLUFF位移傳感器BTL7-S573B-M1250-CD-S32