1. 半內腔氦氖激光器：中心波長 632.8nm，多模、增益管長260mm（活動諧振腔為全反射，即激光由固定諧振腔發出），帶布魯斯特窗，可變腔長；
2. F-P 共焦球面掃描干涉儀：精細常數＞120，自由光譜區 2.48GHz，反射中心波長 632.8nm；
3. 鋸齒波發生器：線性小于＜10%，鋸齒波電壓范圍 0～150V，偏置電壓 0～150V可調，頻率 0～100Hz 可調；光電接收器：帶寬 1MHz，一級信號放大，與鋸齒波發生器連接，含調整架、滑座；
4. 諧振腔反射鏡：Φ19mm，曲率半徑：0.5m，1m，2m ；高斯光束變換透鏡：Ф36mm ，f=-60mm、100mm、150mm ；偏振片：通光口徑Φ25.4mm，帶框，@400～700mm，消光比>400:1，透過率大于 40%（2 片）；
5. 激光功率指示儀：波長約 632.8nm，測量范圍 20mW，顯示分辨率0.01mW，接收面積10×10mm；含滑座及支桿；
6. CMOS 數字相機：黑白，分辨率1280X1024，量化深度10bit，像素尺寸5.2um，USB2.0 接口，鏡頭接口 C 接口；
7. 調整架：偏振片架、二維調整架、干涉儀調整架、相機光闌，調節板；
8. 精密光學導軌：尺寸1000*80mm 專用硬鋁合金型材，帶刻度，分辨精度1mm；配套滑座，可調氦氖激光器電源，Q9 信號線、光電接收器信號線、使用說明書；
9. 軟件包含文件模塊，視圖模塊，設置模塊；文件模塊包含打開、保存、退出功能；視圖模塊包含原圖、定標圖、橫軸側視圖、縱軸側視圖、工具欄、數值統計功能；設置模塊包含語言選項、環境噪聲和數據初始化功能、數值計算（含焦斑半徑和質量參數計算）功能；并設有打開、保存、原圖、定標圖、橫軸側視圖、縱軸側視圖、三維視圖、環境噪聲、數據初始化、焦斑半徑、質量參數計算快捷鍵功能；可顯示未擬合及擬合后 13.5%（±1%）光斑直徑（μm）、未擬合及擬合后 36.8%光斑直徑（μm）、未擬合及擬合后 50.0%光（±1%）斑直徑（μm）、未擬合的質心坐標（μm）、橢圓擬合后的參數、擬合后的質心坐標（μm）、旋轉角度、橢圓度、離心率、峰值(J)、總能量(J)、ROI 區域能量(J)等參數。
