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東莞市豪帝工業自動化設備有限公司
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美國ASCO阿斯卡

SMC潔凈氣體過濾器SF系列特點下載

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SMC潔凈氣體過濾器SF系列特點下載
類型    系列/CAD    使用壓力    過濾精度
卡盤式
圓盤式    SFA100/
200/300     Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)    0.01μm
(捕捉效率99.99%)
卡盤式
直筒式    SFB100     Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)

特長    
可更換濾芯的卡盤式。
一次性使用式
直筒式    SFB300     Max.15MPa
(真空:1.3×10-6kPa)    0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性使用式
多層盤式    SFC100     Max.1.8MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
特長    
用于半導體工藝的一次性使用式。
卡盤式
直筒式
潔凈氣體濾網    SFB200     Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)    120μm
SFA100
SFA200
SFA300
SFB100
SFB100-02
SFB101-02
SFB104-M5
SFB200-02
SFB201-02
SFB202-02
SFB300-02
SFB302-02
SFC102-03

SMC潔凈氣體過濾器SF系列特點下載

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