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SMC潔凈氣體過(guò)濾器SF系列特點(diǎn)下載

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SMC潔凈氣體過(guò)濾器SF系列特點(diǎn)下載
類型    系列/CAD    使用壓力    過(guò)濾精度
卡盤(pán)式
圓盤(pán)式    SFA100/
200/300     Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)    0.01μm
(捕捉效率99.99%)
卡盤(pán)式
直筒式    SFB100     Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)

特長(zhǎng)    
可更換濾芯的卡盤(pán)式。
一次性使用式
直筒式    SFB300     Max.15MPa
(真空:1.3×10-6kPa)    0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性使用式
多層盤(pán)式    SFC100     Max.1.8MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
特長(zhǎng)    
用于半導(dǎo)體工藝的一次性使用式。
卡盤(pán)式
直筒式
潔凈氣體濾網(wǎng)    SFB200     Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)    120μm
SFA100
SFA200
SFA300
SFB100
SFB100-02
SFB101-02
SFB104-M5
SFB200-02
SFB201-02
SFB202-02
SFB300-02
SFB302-02
SFC102-03

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