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氣體流量傳感器應用范圍
氣體流量傳感器性能參數
| AWM5101 | AWM5102 | AWM5103 | AWM5104 | |
|---|---|---|---|---|
| 流量范圍 | 0-5SLPM | 0-10SLPM | 0-15SLPM | 0-20SLPM |
| 后綴-標定氣體 | VA-氬氣（Ar）VC-二氧化碳（CO2）VN-氮氣（N2） | |||
| zui小 典型 zui大 | ||||
| 激勵電壓 | 8.0 10±0.01 15 | |||
| 功耗（mV ） | --- --- 100 | |||
| 反應時間（ms） | --- --- 60 | |||
| 零點輸出VDC | 0.95 1.00 1.05 | |||
| 零點漂移，VDC-20~70℃ | --- ±0.050 ±0.200 | |||
| zui大共模壓力psi | --- -- 50 | |||
| 溫度范圍 | -20~ 70℃ | |||
| 沖擊指標 | 100g峰值，6ms半正弦(3drops,3的每一方向） | |||
| 輸出@較整點 | 5VDC@滿量程流量 | |||
| 壓差@滿量程 | 參照壓力&氣流表 | |||
| 滿量程輸出漂移 20~-25℃ 20~70℃ | 后綴VA或VN±7.0%讀數，VC±10.0%讀數 | |||
| 線性誤差 | ±3.0%讀數 | |||
| 遲滯&重復性 | ±0.5%讀數 | |||
| 連接器（4preceptacle) | AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143） | |||
| 泄漏max | 0.1psi/min,在靜態中 | |||
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