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FMA-1600A系列質量與體積 流量計在層流場中 使用差壓原理 來檢測質量 流量。流量計中的 層流元件(LFD)迫使氣體 進入層流狀態 (經過整流處理)。 按照泊肅葉方程, 在這一區域體 積流量與 沿LFE的固定距離的 壓降呈線性 關系。 同時 結合氣體的 粘度準確判定 體積流量。 引入單獨的 溫度和 壓力傳感器,并根據一系列 標準條件 修正氣體流量。 這種 標準化流量通常稱為 質量流量,使用 標準立方英尺/分鐘(SCFM)或 標準升/分鐘(SLM)等 單位表示。
標準設備包括0 ~ 5 V 輸出(可選4~20 mA)和 RS232通信。 可從前端鍵盤或RS232 通信調整 氣體 選擇功能。 體積流量、 質量流量、或壓力以及 溫度均可通過RS232連接 查看或記錄。 在距離為125’ 的同一串口連接上,同時多可與26臺設備進行多點通信。 以上流量計 還提供便攜式版本, 以便在野外使用(-B型號)。
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