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北京亞歐德鵬科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第14年

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四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀

時(shí)間:2018/3/1閱讀:422
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四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/方阻測試儀/方阻儀/四探針電阻率測定儀  型號(hào):DP-KDY-1

四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機(jī))、測試架及四探針頭組成。
本儀器的點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時(shí),另塊數(shù)字表(以分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時(shí)掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān),在測量某些箔層材料時(shí),可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,測量硅片時(shí)可自動(dòng)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的Z大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測量帶來很大方便。
2、主機(jī)能數(shù)
(1)測量范圍:
可測電阻率:0.0001~19000Ω•cm
可測方塊電阻:0.001~1900Ω•□
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流精度:各檔均低于±0.05%
(3)直流數(shù)字電壓表:
測量范圍:0~199.99mV
靈敏度:10μV
基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)
輸出電源:≥1000ΩM
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(5)使用環(huán)境:
溫度:23±2℃ 相對(duì)濕度:≤65%
無較強(qiáng)的電場干擾,無強(qiáng)光直接照射
(6)重量、體積:
主機(jī)重量:7.5kg
體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×度)

備注:
等測量時(shí)(測電阻率),精度<3%
電氣測量時(shí)(測電阻),精度在0.3%以內(nèi)

備注:
儀器包括:主機(jī)臺(tái);測試架(包括臺(tái)面)個(gè);四探針頭1個(gè)

 

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