北京燕京電子有限公司
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圖片簡介我司不僅僅為客戶提供實驗使用、科研需求的薄膜檢測、分析儀器，同時也為廣大工業用戶提供在線檢測的系統方案
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簡介
我司不僅僅為客戶提供實驗使用、科研需求的薄膜檢測、分析儀器，同時也為廣大工業用戶提供在線檢測的系統方案。不僅可在線檢測導電薄膜的面電阻、膜厚、薄膜均勻性，并且可集成光學反射率、透過率等的功能。
規格參數
測量模式：非接觸式實時測量
襯底：foils, glass, wafer等
檢測間距：1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)
傳感器數目：1 – 99
面阻范圍： 0.0001~1000 Ohm/sq
薄膜厚度：2nm – 2mm（依據面阻而定）
工作環境：真空 / 非真空
工作溫度：< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制）
采樣率：1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s
配套設備（選配）：硬件觸發 / 條形碼閱讀器
選配功能：導電膜厚度/ 光透射率 / 反射率 / 色度等
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