工業潔凈室和生物潔凈室其實都是屬于潔凈室，本質上的區別主要一個是針對無塵，一個針對無菌，兩者主要目的有所區別，因此在設計和施工要有所側重。
潔凈室主要分為工業潔凈室（無塵）和生物潔凈室（無塵，無菌）
工業潔凈室適用于精細機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶消費）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭消費等多行業。 
生物潔凈室適用于制藥工業、醫院（手術室、無菌病房）、食品、化裝品、飲料產品消費、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。 
空氣的含塵濃度表示法.
空氣的含塵濃度系指單位體積空氣中所含的灰塵量
質量濃度—單位體積空氣中含有的灰塵質量（g/m3）
計數濃度—單位體積空氣中含有的灰塵顆粒數（粒/m3）
粒徑顆粒濃度—單位體積空氣中所含的某一粒徑范圍內的灰塵顆粒數（粒/m3）
空氣凈化處置的目的：通過空氣過濾器系統除去空氣中的懸浮塵埃。有時還需對空氣停止殺菌、除臭和添加負離子，以進一步改善空氣的質量。
1988年：16M DRAM問世，1平方厘米大小的硅片上集成有3500萬個晶體管 
2001年：In宣布2001年下半年采用0.13um工藝